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Efecto del limpiador de plasma en la obtención de resultados por microscopía electrónica de transmisión de emisión de campo
CARLOS ELIAS ORNELAS GUTIERREZ
CESAR LEYVA PORRAS
FRANCISCO ESPINOSA MAGAÑA
FRANCISCO PARAGUAY DELGADO
Acceso Abierto
Sin Derechos Reservados
Microscopía
La microscopia electrónica es una técnica muy útil en la caracterización de materiales, y particularmente los microscopios electrónicos de transmisión tienen gran importancia debido a su capacidad para resolver detalles cada vez más finos, contribuyendo al avance de la ciencia y la tecnología a nivel mundial. En las últimas décadas los microscopios electrónicos de transmisión con emisión de campo (FETEM) han cobrado gran interés debido a que mediante ellos es posible obtener un haz de electrones con características muy superiores a las de un microscopio electrónico de transmisión con filamento termoiónico (TEM), así los FETEM proporcionan una densidad de corriente del orden de 1010A/Cm2 la cual puede llegar a ser hasta 10, 000 veces mayor a la de un microscopio convencional con filamento de LaB6. Para dosificar alta densidad de corriente es necesario mejorar el sistema de vacío, incluso en la misma proporción que la densidad de corriente se incrementa, en el FETEM el vacío es del orden de 10-8Pa. Estas dos condiciones principalmente son responsables de que la generación de contaminantes en la rejilla, muestra o en el microscopio, pueda llegar a depositarse y interferir el estudio en la muestra de interés, formando un recubrimiento (generalmente de carbón) que incluso imposibilite la observación de la muestra he introduce errores en los análisis espectroscópicos como EDS e EELS [1-3].
2012
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