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Surface and Interface Structure of silicon Rich Oxide Films
JORGE ALBERTO LUNA LOPEZ
MARIANO ACEVES MIJARES
Acceso Abierto
Sin Derechos Reservados
Silicon Rich Oxide
Nanocrystals
RBS
Si nanocrystals are promising materials which can be used for optical sensor, memory devices and future optoelectronics devices. In this work we study the morphology surface and interface of silicon rich oxide (SRO) films with different nanocrystals (nc-Si) embedded in a thin Sio2 matrix (Silicon excess).
2006
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