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http://cimav.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1004/1631| Compositional study of Silicon Rich Oxide films | |
| ALFREDO MORALES SANCHEZ CARLOS DOMINGUEZ RIOS MARIANO ACEVES MIJARES | |
| Acceso Abierto | |
| Sin Derechos Reservados | |
| Infrared Vibration bands | |
| A compositional study of silicon rich oxide (SRO) films obtained by low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) and plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is presented. As deposited and annealed SRO films were characterized by mean Infrared (IR) and x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) techniques. | |
| 2006 | |
| Memoria de congreso | |
| Inglés | |
| OTRAS | |
| Versión revisada | |
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| Aparece en las colecciones: | Artículos de Congresos |
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| ICEEE (2006) ISBN 1-4244-0403-7.pdf | 1.33 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |