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Silicon nanocrystals into silicon dioxide: comparison between obtaining techniques | |
ALFREDO MORALES SANCHEZ CARLOS DOMINGUEZ RIOS | |
Acceso Abierto | |
Sin Derechos Reservados | |
SRO | |
A comparative analysis (compositional and optical) was carried out on silicon rich oxide (SRO) films deposited by low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) and plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). | |
2006 | |
Memoria de congreso | |
Inglés | |
OTRAS | |
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