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OPTICAL CHARACTERIZATION OF SILICON RICH OXIDE FILMS
ALFREDO MORALES SANCHEZ
MARIANO ACEVES MIJARES
Acceso Abierto
Sin Derechos Reservados
Silicon Rich Oxide
SRO films obtained by LPCVD have shown a strong visible photoluminescence (PL) after annealed at 1100°C. Since these materials are robust and efficient, they have shown having potential applications in optoelectronics. Structural and optical studies on these materials were carried out. The results suggest that the emission can be related to defects surrounding the Silicon c1usters and nanocrystals.
2006
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