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http://cimav.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1004/1670
Annealing effect on the structural and optical properties of siox films deposited by HFCVD | |
José Alberto Luna López SILVIA ADRIANA PEREZ GARCIA | |
Acceso Abierto | |
Sin Derechos Reservados | |
SiOx Photoluminiscence XPS | |
Non-stroichoimetric silicon oxide (SiOx) with embedded Si nanoparticles (Si-nps) shows novel physical characteristic, which permits its use in optoelectronic devices as photodetectors and ligh emitters. In this work, a detailed analysis of the structural and optical properties of silicon rich oxide films deposited via hot filament chemical vapor deposition is done. | |
2014 | |
Memoria de congreso | |
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