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Annealing effect on the structural and optical properties of siox films deposited by HFCVD
José Alberto Luna López
SILVIA ADRIANA PEREZ GARCIA
Acceso Abierto
Sin Derechos Reservados
SiOx
Photoluminiscence
XPS
Non-stroichoimetric silicon oxide (SiOx) with embedded Si nanoparticles (Si-nps) shows novel physical characteristic, which permits its use in optoelectronic devices as photodetectors and ligh emitters. In this work, a detailed analysis of the structural and optical properties of silicon rich oxide films deposited via hot filament chemical vapor deposition is done.
2014
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