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MOS-like electroluminisescent devices using silicon-rich oxide obtained by LPCVD
MARIANO ACEVES MIJARES
Acceso Abierto
Sin Derechos Reservados
Silicon rich oxide
silicon Rich Oxide (SRO) is a multiphase material composed by SiO2, Si and SiOx(0<X<2) SRO characteristics include the photo and cathode emission of visible light. Lastly, big efforts have been devoted to obtain a controllable emission using electroluminescence, but keeping its compatibility with silicon Ic's fabrication technology.
2009
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