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Annealing Effect on the Structural and Optical properties of SiOx films deposited by HFCVD | |
Jorge Alberto Luna López ALFREDO BENITEZ LARA GODOFREDO GARCIA SALGADO JOSE ALVARO DAVID HERNANDEZ DE LA LUZ Alfredo Morales Sánchez SERGIO ALFONSO PEREZ GARCIA | |
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Atribución-NoComercial | |
2014-09 | |
Artículo | |
Español | |
INGENIERÍA Y TECNOLOGÍA | |
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